微纳光机电工程技术广东省重点实验室是以提升光机电系统功能化核心价值为目标，开展基础原创性微纳光机电系统设计，制造与控制新原理、新技术与新装备的研究。实验室围绕微纳光机电一体化，发展了四个紧密关联，相互促进的特色方向：

     1）纳米表面科学与工程方向，提出并探索低能电子诱导下光机电集成纳米表面制造新原理和纳米表面光电特性控制新工艺；

     2）微纳先进制造工程方向，提出并重点发展新型微纳米级精度的加工原理、工艺和装备；

     3）光机电检测与控制工程方向，侧重于提出并解决高端微纳制造装备中的共性、基础性检测、驱动与控制科学技术问题；

     4）微纳光子技术与器件，提出微纳尺度下光与物质相互作用的新机理及其应用。

四个研究方向团队人员科研实力雄厚，由著名学者、杰青作为学科带头人，以多数具有海外留学背景的青年人才为主要科研力量，团队人员结构分布合理，凝聚力强。总之，微纳光机电工程技术广东省重点实验室依托于深圳大学，主要解决广东省微纳光机电一体化中重要技术问题，面向国际学术前沿领域，建立聚集和培养优秀人才的国际化科研基地，必将促进广东省微纳光机电一体化的进程和经济的可持续发展。